چگونه دستگاه پوشش یونی چند عیار رسوب پوشش های روی بسترها با زبری سطح متفاوت یا هندسه را کنترل می کند؟
یکی از مهمترین مزایای دستگاه پوشش یونی چند قوس توانایی آن در کنترل انرژی یون مورد استفاده در فرآیند رسوب است. این کنترل برای سازگاری با بسترهای دارای زبری سطح مختلف یا هندسه های پیچیده بسیار...