چگونه فشار عملیاتی در دستگاه پوشش پاشش مگنترون بر کیفیت و یکنواختی پوشش اعمال شده برای بسترها تأثیر می گذارد؟
فشار عملیاتی نقش مستقیمی در کنترل میزان رسوب مواد پاشیده شده بر روی بستر دارد. در فشارهای کم ، میانگین مسیر آزاد - فاصله یک اتم پاشیده شده قبل از برخورد با ذرات دیگر - از نظر طولانی تر حرکت می کند....