روش های رایج تشخیص نشت خلاء

تشخیص نشت توسط طیف سنجی جرمی هلیوم

این فناوری یک فناوری ضروری در زمینه تشخیص نشت خلاء است. این به طور گسترده ای در تشخیص نشت استفاده می شود زیرا راندمان تشخیص نشت بالا، عملکرد آسان، پاسخ ابزار حساس، دقت بالا و غیره تامین کنندگان سیستم های پوشش PVD چین به راحتی توسط گازهای دیگر تداخل پیدا می کند. نشت یاب اسپکترومتر جرمی هلیوم نوعی ابزار تشخیص تنگی گاز بر اساس اصل طیف سنجی جرمی است که از هلیوم به عنوان گاز نشانگر نشت استفاده می کند. از یک منبع یون، یک آنالایزر، یک کلکتور، یک گیج یونیزاسیون کاتد سرد، یک محفظه طیف سنجی جرمی، یک سیستم اگزوز و یک بخش الکتریکی تشکیل شده است. الکترون های ساطع شده از رشته در محفظه طیف سنجی جرمی به سمت جلو و عقب در اتاق نوسان می کنند و با گاز داخلی و هلیوم که از طریق سوراخ نشتی وارد اتاق می شود برخورد می کند تا به یون های مثبت یونیزه شود. این یون‌های هلیوم وارد میدان مغناطیسی زیر مغز چپ و راست میدان الکتریکی شتاب‌دار می‌شوند و در اثر نیروی لورنتس منحرف می‌شوند و یک مدار قوس دایره‌ای تشکیل می‌دهند و میدان الکتریکی شتاب‌دار را تغییر می‌دهند. فشار باعث می شود یون های با جرم های مختلف با رسیدن به قطب گیرنده از طریق میدان های مغناطیسی و شکاف های دریافت کننده شناسایی شوند. روش تزریق هلیوم و روش جذب هلیوم دو روش پرکاربرد در نشت یابی طیف سنج جرمی هلیوم هستند.