اصطلاحات رایج خلاء 3

1. محدوده خلاء: ناحیه خلاء تقریباً به شرح زیر تقسیم می شود:

پا        تور

خلاء کم:            10 ⁵ 10 ² 760 تا 1
خلاء متوسط:          10 ² 10 ^-1 1 تا 10 ^-3

خلاء زیاد:            10 ^-1 10 ^-5 10 ^-3 10 ^-7

خلاء فوق العاده بالا:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. گاز: موادی که آزادانه هر فضایی را اشغال می کنند و در معرض فعل و انفعالات بین مولکولی نیستند. نکته: در فناوری خلاء، اصطلاح «گاز» به شدت برای گازها و بخار غیرقابل تراکم به کار نمی رود.
3. n，m-3 چگالی عددی مولکول‌ها: در یک لحظه معین، تامین کنندگان ماشین آلات آبکاری PVD چین تعداد مولکول های موجود در حجم اطراف یک نقطه در گاز بر آن حجم تقسیم می شود.
4. ι、λ，m به معنای مسیر آزاد: فاصله ای که یک مولکول با مولکول های گازی دیگر در هر دو برخورد متوالی طی می کند، مسیر آزاد نامیده می شود. میانگین تعداد زیادی از مسیرهای آزاد مختلف، مسیر آزاد متوسط ​​نامیده می شود.3