اصطلاحات رایج خلاء 7

1. گاز زدایی: دفع مصنوعی گازها از مواد.
2. خروج گاز: گاز به طور طبیعی از مواد دفع می شود.
3.qGU دفع یا خروج گاز یا سرعت گاززدایی: در یک بازه زمانی معین، نرخ جریان گاز (یا سرعت جریان مولکولی) دفع (یا کاهش تورم یا گاززدایی) از مواد بر زمان و مساحت سطح تقسیم می‌شود. تامین کنندگان دستگاه پوشش پلاسما چین
4. نرخ تبخیر: تعداد مولکول‌ها (یا جرم یا جرم) تبخیر شده از سطح در یک بازه زمانی معین تقسیم بر زمان و مساحت سطح.
5. زمان خشن: زمان مورد نیاز برای پمپ خلاء مرحله جلو یا دستگاه پمپ خلاء مرحله جلو برای پمپاژ از فشار اتمسفر به فشار پایه یا برای شروع فشار پمپ خلاء که با فشار نسبتاً پایین کار می کند.
6. زمان پمپاژ پایین: کاهش فشار سیستم خلاء از فشار اتمسفر به فشار معین، مانند زمان لازم برای رسیدن به فشار پایه.