اصطلاحات رایج خلاء 11

1. زاویه پوشش: زاویه بین جهت ذرات وارد شده بر روی بستر و نرمال سطح آبکاری شده.
2. کندوپاش خلاء: در خلاء، یون های گاز بی اثر اتم ها (مولکول ها) یا خوشه ها را از سطح هدف بمباران می کنند.
3. کندوپاش پرتو یونی: هدف توسط یک پرتو یونی که از یک منبع یونی خاص به دست آمده است پراکنده می شود.
4. تمیز کردن تخلیه براق: بر اساس اصل تخلیه درخشش، سطح بستر و فیلم با بمباران تخلیه گاز تمیز می شود. تامین کنندگان دستگاه پوشش خلاء تزئینی چین
5. رسوب فیزیکی بخار PVD: در خلاء، مواد پوشش با روش های فیزیکی مانند تبخیر یا کندوپاش تبخیر می شوند و بر روی بستر رسوب می کنند.
6. CVD رسوب بخار شیمیایی: روشی برای رسوب مواد فیلم جدید بر روی بسترها با واکنش های شیمیایی بخار گازهای در حال واکنش با نسبت شیمیایی معین در شرایط فعال سازی خاص (معمولاً در دمای بالا معین).