اصطلاحات رایج خلاء 5

1- انتشار گاز: گاز در محیط دیگری به دلیل گرادیان غلظت حرکت می کند. محیط می تواند گاز دیگری باشد (در این مورد به انتشار اینترفیوژن می گویند) یا یک ماده متراکم شونده.
ضریب انتشار 2.D. نفوذ: نسبت سرعت جریان جرم مطلق در واحد سطح به گرادیان غلظت نرمال در واحد سطح به دست می آید. تامین کنندگان ماشین آلات آبکاری PVD چین
3. جریان چسبناک: متوسط ​​مسیر آزاد مولکول گاز بسیار کوچکتر از حداقل اندازه مقطع مجرا است. بنابراین، جریان به ویسکوزیته گاز بستگی دارد که می تواند آرام یا راکد باشد.
4.η عامل چسبناک: نسبت نیروی مماسی به گرادیان سرعت در واحد سطح در جهت گرادیان سرعت جریان هوا.
5. جذب: به دام انداختن گاز یا بخار (جاذب) توسط جامد یا مایع (جاذب).