اجزای اصلی یک سیستم پوشش خلاء چیست؟

1. محفظه خلاء

تجهیزات پوشش به طور عمده دارای دو شکل است: خط تولید پوشش مداوم و دستگاه پوشش تک محفظه، تولید مواد فولادی ضد زنگ، جوشکاری قوس آرگون، عملیات پرداخت شیمیایی سطح، و مشخصات مختلف رابط های فلنج بر روی اجزای محفظه خلاء جوش داده می شود.

2، بخش اکتساب خلاء

در فناوری خلاء، بخش جذب خلاء بخش مهمی است. دستیابی به خلاء با یک دستگاه و روش خلاء امکان پذیر نیست. چندین پمپ باید به صورت ترکیبی استفاده شوند، مانند پمپ های مکانیکی، پمپ های ریشه، سیستم های پمپ مولکولی و غیره.

3، بخش اندازه گیری خلاء

بخش اندازه گیری خلاء سیستم خلاء برای اندازه گیری فشار در محفظه خلاء است. مانند پمپ خلاء، هیچ گیج وکیومی نمی تواند کل محدوده خلاء را اندازه گیری کند، بنابراین مردم انواع مختلفی از وکیوم سنج ها را با توجه به اصول و الزامات مختلف ساخته اند. مانند ترموکوپل متر، یونیزاسیون، متر پیرانی و ....

4. قسمت منبع تغذیه

منبع تغذیه هدف عمدتاً شامل منبع تغذیه DC، منبع تغذیه فرکانس متوسط، منبع تغذیه پالس و منبع تغذیه فرکانس رادیویی (RF) است. تولید کنندگان رایج منبع تغذیه عبارتند از AE، ADL، Hottinger و غیره.

5. سیستم ورودی گاز فرآیند

گازهای فرآیندی مانند آرگون (Ar)، کریپتون (Kr)، نیتروژن (N2)، استیلن (C2H2)، متان (CH4)، هیدروژن (H2)، اکسیژن (O2) و غیره، عموماً توسط سیلندرهای گاز تامین می شوند. شیر کاهش فشار گاز، شیر توقف گاز، خط لوله، جریان سنج گاز، شیر برقی، شیر پیزوالکتریک، و سپس به محفظه خلاء. مزیت این سیستم ورودی گاز این است که خط لوله ساده و شفاف است و به راحتی می توان سیلندر گاز را تعمیر یا تعویض کرد. دستگاه های پوشش روی یکدیگر تأثیر نمی گذارند. همچنین مواردی وجود دارد که ماشین‌های پوشش چندگانه مجموعه‌ای از سیلندرهای گاز را به اشتراک می‌گذارند. این وضعیت ممکن است در برخی از کارگاه های پوشش دهی در مقیاس بزرگ دیده شود. مزیت آن کاهش اشغال سیلندرهای گاز، برنامه ریزی یکپارچه و چیدمان یکپارچه است. عیب آن این است که به دلیل افزایش تعداد مفاصل، احتمال نشت هوا افزایش می یابد. علاوه بر این، دستگاه های پوشش دهی با یکدیگر تداخل خواهند داشت و ممکن است از خط لوله یک دستگاه پوشش دهنده هوا نشت کند که ممکن است بر کیفیت محصول سایر دستگاه های پوشش تأثیر بگذارد. علاوه بر این، هنگام تعویض سیلندرهای گاز، لازم است اطمینان حاصل شود که همه ماشین ها در حالت غیر گاز هستند.

6. بخش انتقال مکانیکی

پوشش مستلزم آن است که ضخامت حاشیه باید یکنواخت باشد. بنابراین، باید سه چرخش در فرآیند پوشش وجود داشته باشد تا الزامات برآورده شود. یعنی در حالی که میز قطعه کار بزرگ برای چرخش (I) لازم است، حامل قطعه کار کوچک نیز (II) می چرخد ​​و خود قطعه کار می تواند همزمان بچرخد (III). در طراحی مکانیکی، به طور کلی یک چرخ دنده محرکه بزرگ در مرکز قسمت پایین صفحه گردان بزرگ وجود دارد و تعدادی چرخ ستاره کوچک با آن مشبک می شوند. اگر قرار است محصول بچرخد، قطعه کار به طور کلی توسط یک شاخک شیفت چرخانده می شود.

7، بخش اندازه گیری گرمایش و دما

تجهیزات پوشش معمولاً دارای بخاری در موقعیت های مختلف هستند و برای اندازه گیری و کنترل دما از ترموکوپل ها استفاده می شود. با این حال، از آنجایی که موقعیت گیره ترموکوپل با موقعیت قطعه کار متفاوت است، خواندن دما نمی تواند دمای واقعی قطعه کار باشد. برای اندازه گیری دمای واقعی قطعه کار روش های زیادی وجود دارد که می توانید کاغذ تست با دمای بالا یا ترموکوپل متر را روی قطعه کار نصب کنید.

8. تبخیر یون و منبع کندوپاش

منبع تبخیر 　　 آبکاری چند قوس معمولاً به شکل کیک گرد است که معمولاً به عنوان هدف کیک گرد شناخته می شود و اهداف چند قوس مستطیلی نیز وجود دارد. یک آهنربا در پایه هدف نصب شده است. با حرکت آهنربا به جلو و عقب، شدت میدان مغناطیسی تغییر می کند و می توان سرعت حرکت و مسیر نقطه قوس را تنظیم کرد. برای کاهش دمای هدف و پایه هدف، پایه هدف باید به طور مداوم با آب خنک کننده تامین شود. به منظور اطمینان از هدایت الکتریکی و حرارتی بالا بین هدف و پایه هدف، می توان یک واشر قلع نیز بین هدف و پایه هدف اضافه کرد. پوشش کندوپاش مگنترون معمولاً از کاتدهای کندوپاش مستطیلی یا استوانه ای استفاده می کند.

9، سیستم خنک کننده آب

به طور کلی از برج آب سرد، دستگاه آب یخ، پمپ آب و غیره تشکیل شده است.

10, سیستم کنترل صنعتی