اصل کار دستگاه پوشش خلاء چیست؟

در زمینه پوشش، ضخامت نمونه فیلم پس از پوشش، عامل مهمی بر عملکرد فیلم است. بنابراین، هنگام ارزیابی عملکرد یک نمونه فیلم، لازم است عملکرد نمونه فیلم در ضخامت های مختلف آزمایش شود. در مورد پوشش خلاء، این اغلب به آماده سازی نمونه های متعدد نیاز دارد. با این حال، دو مشکل در آماده‌سازی نمونه‌ها برای چندین بار وجود دارد: اول اینکه، وضعیت ابزار برای نمونه‌هایی که در زمان‌های مختلف رشد کرده‌اند متفاوت است، به طوری که عاملی که بر عملکرد نمونه فیلم تأثیر می‌گذارد ممکن است تنها ضخامت نباشد. ثانیاً، نمونه باید دوباره در آزمایش پوشش خلاء خلاء شود. به دست آوردن بسیار زمان بر است. افزایش هزینه تولید و آزمایش.

بنابراین، یک سیستم پوشش کندوپاش مگنترون چند منظوره ارائه شده است. این سیستم توسط سیستم پوشش خلاء و سیستم جعبه دستکش یکپارچه شده است. این می تواند تبخیر لایه نازک را در یک محفظه تبخیر با خلاء بالا کامل کند و دارای گاز بی اثر با خلوص بالا در جعبه دستکش است. ذخیره سازی و آماده سازی نمونه ها و تشخیص نمونه ها پس از تبخیر در اتمسفر انجام می شود. ترکیب پوشش تبخیر و جعبه دستکش تولید کاملا محصور تبخیر، کپسولاسیون، آزمایش و سایر فرآیندها را تحقق می بخشد، به طوری که کل رشد فیلم و فرآیند آماده سازی دستگاه به شدت در یک سیستم اتمسفر محیطی کاملا قابل کنترل ادغام می شود، و باعث از بین رفتن سطح ارگانیک بزرگ می شود. فرآیند آماده سازی مدار تأثیر عوامل ناپایدار در محیط جوی تضمین کننده آماده سازی دستگاه ها و مدارهای اپتوالکترونیک آلی با کارایی بالا و مساحت بزرگ است.

هدف اصلی سیستم پوشش چند منظوره کندوپاش مگنترون: برای تهیه فیلم های مختلف فلزی، فیلم های نیمه هادی، فیلم های دی الکتریک، فیلم های مگنترون، فیلم های نوری، فیلم های ابررسانا، فیلم های حسگر و فیلم های مختلف عملکردی استفاده می شود.