اصطلاحات خلاء مشترک 11
1. زاویه پوشش : زاویه بین جهت حادثه ذرات روی بستر و طبیعی سطح آبکاری شده. 2.socuum puttering : در خلاء ، یون های گاز بی اثر اتم ها (مولکول ها) یا خوشه هایی از سطح هدف را بمباران می کنند. 3. پ...
1. زاویه پوشش : زاویه بین جهت حادثه ذرات روی بستر و طبیعی سطح آبکاری شده. 2.socuum puttering : در خلاء ، یون های گاز بی اثر اتم ها (مولکول ها) یا خوشه هایی از سطح هدف را بمباران می کنند. 3. پ...
1. پمپ نگهداری: در سیستم خلاء ، حجم هوا بسیار اندک است و از پمپ جلو نمی توان به طور مؤثر استفاده کرد. برای این منظور ، یک پمپ کمکی کوچک برای حفظ پمپ اصلی مجهز است که به آن پمپ تعمیر و نگهداری گفته ...
1. شیر الکتریکی که از لحاظ عملکردی با نیروی الکترومغناطیسی تغذیه می شود. 2. شیر بافل : صفحه دریچه دریچه باز و بسته شدن را در امتداد محور صندلی حرکت می دهد. 3. شیر فلپ : دیسک یک دریچه باز و بس...
1.ring Gasket : مدل ابزار مربوط به یک مهر و موم خلاء حلقوی است. توجه: حلقه های آب بندی خلاء مختلفی با اشکال مقطع مختلف مانند حلقه های مهر و موم "O" ، حلقه های مهر و موم "،" L "حلقه های مهر و موم و ...
1.Degassing : دفع مصنوعی گازها از مواد. 2.Outgassing : گاز به طور طبیعی از مواد دفع می شود. 3.QGU دفع یا نرخ پیشینه یا تخریب : در یک بازه زمانی معین ، سرعت جریان گاز (یا سرعت جریان مولکولی) د...
1. جذب : جذب گازها یا بخارات (جاذب) بر روی سطوح جامد یا مایع (جاذب). 2.PhysisnOpption : جذب به دلیل عملکرد فیزیکی. کارخانه دستگاه پوشش خلاء تبخیر 3.CheMISOTRAPT : جذب به دلیل اقدامات شی...
1.Diffusion of Gas : گاز در محیط دیگر به دلیل شیب غلظت حرکت می کند. متوسط می تواند یک گاز دیگر باشد (انتشار در این مورد interdiffusion نامیده می شود) یا یک ماده تراکم. ضریب انتشار 2.D ؛ انتشار...
1. نرخ برخورد : در یک بازه زمانی معین ، میانگین تعداد برخورد یک مولکول (یا سایر ذرات مشخص شده) نسبت به سایر مولکول های گاز (یا سایر ذرات مشخص شده) که براساس آن زمان تقسیم می شوند. میانگین تعداد تصا...
دامنه خلاء : منطقه خلاء تقریباً به شرح زیر تقسیم می شود: Pa Torr خلاء کم: 10 5 10 ~ 2 760 ~ 1 خلاء متوسط: 10 2 10 ~ -1 1 ~ 10 -3 خلاء بالا: 10 ...
1.PA PASCAL : واحد فشار بین المللی ، 1PA = 1n/m2. 2.Torr Torr : واحد فشار ، 1 TORR = 1/760 اتمسفر. تأمین کنندگان سیستم های پوشش PVD چین جو استاندارد ATM : واحد فشار ، 1ATM = 101325PA ...
وضعیت استاندارد محیط : درجه حرارت 20 ℃ ، رطوبت نسبی 65 ٪ است و فشار جوی IS101325PA = 1013.25Mbar = 760Torr。 تأمین کنندگان سیستم های پوشش PVD شرایط مرجع استاندارد برای گازها : درجه...
رسوب متلاطم اصول اساسی یک سطح جامد با ذرات پرانرژی بمباران می شود (معمولاً یونهای مثبت که توسط یک میدان الکتریکی تسریع می شوند). لکه دار شدن اتمها و مولکول ها بر روی سطح جامد پس از تبادل انرژ...