اصل ساختاری دستگاه پوشش خلاء

دستگاه غشایی در حال حاضر پرکاربردترین تجهیزات برای ایجاد شرایط خلاء است. اجزا و اجزای مربوط به آن: پمپ مکانیکی، پمپ تقویت کننده، پمپ انتشار روغن، پمپ میعانات، سیستم اندازه گیری خلاء.
بدنه وکیوم- محفظه های خلاء با توجه به محصولات فرآوری شده نیازهای متفاوتی دارند و اندازه محفظه خلاء نیز متفاوت است. در حال حاضر پرکاربردترین آنها 1.3M، 0.9M، 1.5M، 1.8M و غیره می باشد. محفظه از فولاد ضد زنگ ساخته شده است و مورد نیاز زنگ زده، جامد و غیره، دریچه های اتصال در هر قسمت از خلاء وجود دارد. محفظه ای که برای اتصال هر پمپ مکنده استفاده می شود. دستگاه پوشش وکیوم

به طور عمده به 4 بخش، واحد خلاء، جعبه خلاء، سیستم تبخیر، سیستم کنترل تقسیم می شود.
واحد را می توان به: خلاء کم، خلاء زیاد، واحد پمپ ریشه، واحد پمپ انتشار، واحد پمپ مولکولی، واحد پمپ سرما و غیره تقسیم کرد.
تبخیر به دو دسته تقسیم می شود: تبخیر پرتو الکترونی، تبخیر گرمایش مقاومتی، تبخیر کندوپاش مگنترون، تبخیر چند قوس