اجزای اصلی سیستم پوشش خلاء چیست؟- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

اجزای اصلی سیستم پوشش خلاء چیست؟

1 محفظه خلاء

تجهیزات روکش به طور عمده دارای دو شکل است: خط تولید پوشش مداوم و دستگاه پوشش یک محفظه ، تولید مواد استیل ضد زنگ ، جوش قوس آرگون ، درمان جلا دادن شیمیایی سطح و مشخصات مختلف رابط های فلنج بر روی اجزای محفظه خلاء جوش داده می شود.

2 ، قسمت کسب خلاء

در فناوری خلاء ، قسمت کسب خلاء بخش مهمی است. دستیابی به خلاء با یک تجهیزات و روش خلاء واحد حاصل نمی شود. چندین پمپ باید در ترکیب مانند پمپ های مکانیکی ، پمپ های ریشه ، سیستم های پمپ مولکولی و غیره استفاده شود.

3 ، قسمت اندازه گیری خلاء

قسمت اندازه گیری خلاء سیستم خلاء اندازه گیری فشار در محفظه خلاء است. مانند پمپ خلاء ، هیچ سنج خلاء نمی تواند کل محدوده خلاء را اندازه گیری کند ، بنابراین افراد با توجه به اصول و الزامات مختلف ، انواع مختلفی از دستگاه های خلاء را تهیه کرده اند. مانند متر ترموکوپل ، متر یونیزاسیون ، متر پیرانی و غیره.

4. قسمت منبع تغذیه

منبع تغذیه هدف به طور عمده شامل منبع تغذیه DC ، منبع تغذیه فرکانس میانی ، منبع تغذیه پالس و منبع تغذیه فرکانس رادیویی (RF) است. تولید کنندگان منبع تغذیه مشترک شامل AE ، ADL ، Hottinger و غیره هستند.

5. سیستم ورودی گاز را پردازش کنید

گازهای فرآیند ، مانند آرگون (AR) ، کریپتون (KR) ، نیتروژن (N2) ، استیلن (C2H2) ، متان (CH4) ، هیدروژن (H2) ، اکسیژن (O2) و غیره ، به طور کلی توسط سیلندرهای گازی تأمین می شوند. شیر کاهش فشار گاز ، دریچه توقف گاز ، خط لوله ، کنتور جریان گاز ، شیر سولنوئید ، شیر پیزوالکتریک و سپس داخل محفظه خلاء. مزیت این سیستم ورودی گاز این است که خط لوله ساده و واضح است و ترمیم یا تعویض سیلندر گاز آسان است. ماشین های پوشش بر یکدیگر تأثیر نمی گذارند. همچنین مواردی وجود دارد که چندین ماشین پوشش مجموعه ای از سیلندرهای گازی را به اشتراک می گذارند. این وضعیت ممکن است در برخی از کارگاه های پوشش در مقیاس بزرگ مشاهده شود. مزیت آن این است که باعث کاهش اشغال سیلندرهای گازی ، برنامه ریزی یکپارچه و چیدمان یکپارچه می شود. نقطه ضعف این است که به دلیل افزایش تعداد اتصالات ، احتمال نشت هوا افزایش می یابد. علاوه بر این ، دستگاه های پوشش با یکدیگر تداخل می کنند و خط لوله یک دستگاه پوشش ممکن است هوا را نشت کند ، که ممکن است بر کیفیت محصول سایر ماشین های پوشش تأثیر بگذارد. علاوه بر این ، هنگام تعویض سیلندرهای گازی ، لازم است اطمینان حاصل شود که همه دستگاه ها در حالت غیر GAS قرار دارند.

6. قسمت انتقال مکانیکی

این پوشش مستلزم آن است که ضخامت حاشیه باید یکنواخت باشد. بنابراین ، برای پاسخگویی به الزامات باید سه چرخش در فرآیند پوشش وجود داشته باشد. یعنی در حالی که جدول بزرگ کار برای چرخش (I) لازم است ، حامل قطعه کوچک نیز می چرخد (II) ، و خود قطعه کار می تواند همزمان بچرخد (III). در طراحی مکانیکی ، به طور کلی یک دنده بزرگ رانندگی در مرکز قسمت پایین قطعه کار بزرگ وجود دارد ، و برخی از چرخ های کوچک ستاره با آن مش. در صورت چرخش محصول ، قطعه کار به طور کلی توسط یک چنگال شیفت چرخانده می شود.

7 ، قسمت گرمایش و دما

تجهیزات پوشش به طور کلی در موقعیت های مختلف بخاری دارند و از ترموکوپل ها برای اندازه گیری و کنترل دما استفاده می شود. با این حال ، از آنجا که موقعیت بستن ترموکوپل با موقعیت قطعه کار متفاوت است ، خواندن دما نمی تواند دمای واقعی قطعه کار باشد. برای اندازه گیری دمای واقعی قطعه کار ، روشهای زیادی وجود دارد ، می توانید کاغذ تست دمای بالا یا متر ترموکوپل را روی قطعه کار نصب کنید.

8. تبخیر یونی و منبع پاشش

منبع تبخیر آبکاری چند قوس به طور کلی به شکل یک کیک گرد است که معمولاً به عنوان یک هدف کیک گرد شناخته می شود ، و همچنین اهداف چند قوس مستطیلی وجود دارد. یک آهنربا در پایه هدف نصب شده است. با حرکت آهنربا به جلو و عقب ، شدت میدان مغناطیسی تغییر می کند و سرعت حرکت و مسیر نقطه قوس قابل تنظیم است. برای کاهش دمای هدف و پایه هدف ، پایه هدف باید به طور مداوم با آب خنک کننده تأمین شود. به منظور اطمینان از هدایت الکتریکی و حرارتی بالا بین هدف و پایه هدف ، می توان یک واشر قلع را نیز بین هدف و پایه هدف اضافه کرد. روکش لکه دار مگنترون به طور کلی از کاتدهای لکه دار مستطیل یا استوانه ای استفاده می کند.

9 ، سیستم خنک کننده آب

به طور کلی شامل برج آب سرد ، دستگاه آب یخ ، پمپ آب و غیره است.

10 ، سیستم کنترل صنعتی

به اشتراک: