تجزیه و تحلیل فناوری پوشش مشترک تبخیر- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

تجزیه و تحلیل فناوری پوشش مشترک تبخیر

1. مقاومت تبخیر مقاومت: از منبع تبخیر مقاومت برای تبخیر مواد نقطه ذوب کم ، مانند طلا ، نقره ، سولفید روی ، منیزیم فلوراید ، تری اکسید کروم و غیره استفاده می شود.

2. پرتو الکترونی آبکاری تبخیر : پس از تبخیر و تبخیر در اثر گرمایش پرتو الکترونی ، در سطح بستر متراکم می شود تا یک فیلم تشکیل شود ، که یک روش مهم گرمایش در فناوری تبخیر خلاء است.

انواع مختلفی از این دستگاه ها وجود دارد. با استفاده گسترده از فناوری فیلم نازک ، نه تنها الزامات مربوط به انواع غشاها متنوع است ، بلکه الزامات مربوط به کیفیت غشاها دقیق تر است.

تبخیر مقاومت دیگر نمی تواند نیازهای تبخیر برخی از فلزات و غیر متال ها را برآورده کند. منبع گرمای پرتو الکترونی می تواند چگالی انرژی بسیار بیشتری نسبت به منبع گرمای مقاومت بدست آورد و مقدار می تواند به 104-109W/cm2 برسد ، بنابراین این فیلم می تواند تا 3000-6000c گرم شود.

این یک منبع گرمای بهتری برای تبخیر فلزات نسوز و مواد غیر فلزی مانند تنگستن ، مولیبدن ، ژرمنیم ، SiO2 ، AI2O3 و غیره فراهم می کند. علاوه بر این ، از آنجا که ماده ای که باید تبخیر شود در یک صلیب آب با آب قرار می گیرد ، تبخیر از ظروف کانتینر و واکنش بین مواد فیلم می تواند از مواد فیلمبرداری جلوگیری شود و از این طریق می توان از نظر فلوتیکالیک از مواد فیلم جلوگیری کرد.

علاوه بر این ، گرما را می توان به طور مستقیم به سطح مواد فیلم اضافه کرد ، بنابراین راندمان حرارتی زیاد است ، و انتقال گرما و ضرر تابش گرما اندک است.

3. آبکاری تبخیر گرمایش قوس: یک روش گرمایشی مشابه روش گرمایش پرتو الکترونی روش گرمایش تخلیه قوس است. همچنین از ویژگی های جلوگیری از آلودگی مواد گرمایشی مقاومت یا مواد قابل حمل برخوردار است و از ویژگی های دمای گرمایش بالا برخوردار است ، به خصوص برای تبخیر فلزات نسوز ، گرافیت و غیره با نقطه ذوب بالا و هدایت خاص.

در عین حال ، تجهیزات مورد استفاده در این روش ساده تر از دستگاه گرمایش پرتو الکترونی است ، بنابراین یک دستگاه تبخیر نسبتاً ارزان است.

4. آبکاری تبخیر پرتو لیزر: روش استفاده از لیزر پالس چگالی بالا برای تبخیر مواد برای شکل گیری فیلم های نازک به طور کلی تبخیر لیزر نامیده می شود

5. آبکاری تبخیر گرمایش با فرکانس بالا: از اصل گرمایش القایی برای گرم کردن فلز به دمای تبخیر استفاده کنید.

صلیب حاوی مواد فیلم در مرکز سیم پیچ مارپیچ قرار می گیرد و جریان فرکانس بالا از طریق سیم پیچ عبور می کند ، به طوری که مواد فیلم فلزی می تواند جریان را برای گرم کردن خود تا زمانی که تبخیر شود ، ایجاد کند.

ویژگی های تبخیر گرمایش القایی:

1. نرخ تبخیر بالا

2. دمای منبع تبخیر یکنواخت و پایدار است و تولید پدیده چلپ چلوپ قطره آلومینیومی آسان نیست

3. منبع تبخیر در یک زمان شارژ می شود ، هیچ مکانیسم تغذیه سیم مورد نیاز نیست ، کنترل دما نسبتاً آسان است و عملکرد ساده است

4. الزامات مربوط به خلوص مواد غشایی کمی گسترده تر است.

دستگاه پوشش خلاء تبخیر حرارتی