بوها دستگاه پوشش یونی چند قوس ، همچنین به عنوان یک دستگاه آبکاری یونی شناخته می شود ، نوعی تجهیزات رسوب بخار فیزیکی (PVD) است که برای رسوب فیلم های نازک از مواد مختلف بر روی سطوح استفاده می شود. این فرآیند شامل یونیزه کردن مواد در یک محفظه خلاء و سپس استفاده از یک میدان الکتریکی برای تسریع یونها به سمت سطح بستر است. مواد پوشش با تخلیه قوس یا لکه دار شدن تبخیر می شوند و سپس به صورت یکنواخت روی بستر قرار می گیرند.
دستگاه های پوشش یونی چند قوس در کاربردهای مختلفی از جمله تولید پوشش های نوری ، پوشش های تزئینی ، پوشش های کاربردی و پوشش برای ابزارهای برش استفاده می شود. استفاده از قوس های متعدد در فرآیند آبکاری یون امکان توزیع یکنواخت تر مواد پوشش را فراهم می کند و در نتیجه کیفیت فیلم بهتر و ضخامت سازگار تر ایجاد می شود.
مزایای دستگاه های پوشش یونی چند قوس شامل نرخ رسوب بالا ، کیفیت خوب فیلم و امکان پوشش طیف گسترده ای از بسترها است. با این حال ، این روند همچنین محدودیت هایی از جمله نیاز به محیط خلاء بالا و هزینه بالای تجهیزات دارد.