ساخت دقیق / تشخیص تعمیر و نگهداری
سیگنال های آرام یک نازل گرفتگی
مدتها قبل از اینکه یک نقص پوشش به چشم غیر مسلح برسد، دستگاه از قبل چیزی به شما می گوید. یادگیری خواندن فشار خلاء، نرخ رسوب، و واریانس ضخامت، پارگی پنج ساعته را به یک اصلاح پنج دقیقه ای تبدیل می کند.
پاسخ مستقیم: علائم هشدار دهنده کلیدی گرفتگی نازل
اپراتورها می توانند با نظارت بر چهار شاخص قابل اندازه گیری، علائم اولیه گرفتگی نازل دستگاه پوشش را شناسایی کنند: کاهش پایداری خلاء محفظه , خوانش ضخامت فیلم ناهموار ، نرخ رسوب نامنظم روی نمایشگر کریستالی و پراکندگی یا قوس در نقطه تغذیه مواد منبع قابل مشاهده است. در اکثر دستگاه پوشش خلاء در تنظیمات، یک نازل یا منبع تبخیر تا حدی مسدود شده، قبل از نمایان شدن عیب در زیرلایه تمام شده، 15٪ تا 40٪ کارایی مواد را کاهش می دهد. گرفتن این سیگنال ها در طول اولین شیفت یک دوره تولید، به جای پس از پردازش یک دسته کامل، چیزی است که تعمیر و نگهداری معمول را از دوباره کاری پرهزینه جدا می کند.
بخشهای زیر هر نشانگر، ابزارهای تشخیصی مورد استفاده برای تأیید آنها و فواصل نگهداری را که از انسداد مکرر جلوگیری میکند، توضیح میدهد.
چرا گرفتگی نازل در وهله اول اتفاق می افتد؟
قبل از اینکه اپراتور بتواند علائم هشدار اولیه را بگیرد، به درک علت انسداد کمک می کند. نازل های پوشش و بوته های تبخیر به چند دلیل قابل پیش بینی باقیمانده را جمع می کنند: بخار متراکم که دوباره در نزدیکی دهانه منجمد می شود، ذرات اکسید شده از مواد منبع که بارها مجدداً استفاده شده اند، و خروج گاز از محصولات جانبی از بسترهایی که قبل از بارگیری به درستی تمیز نشده اند. در یک معمولی دستگاه متالیزاسیون تغذیه سیم آلومینیومی از طریق یک قایق گرم شده با مقاومت می تواند ریز پاشیده شدن را پشت سر بگذارد که به تدریج مسیر جریان بخار را باریک می کند. در طی دهها چرخه، این باریک شدن هندسه الگوی رسوبگذاری را تغییر میدهد، که دقیقاً همان چیزی است که ابتدا در قرائتهای مورد بحث در زیر نشان داده میشود.
رطوبت، تمیزی محفظه و خلوص مواد منبع همگی بر سرعت ایجاد این تجمع تأثیر میگذارند. تأسیساتی که با سیم آلومینیومی خالص 99.9 درصد کار میکند، نسبت به دستگاهی که از ذخایر بازیابی شده یا درجه پایینتر استفاده میکند، بقایای کمتری انباشته میشود، و این یکی از متغیرهایی است که وقتی اپراتورها سعی میکنند مشکلات گرفتگی مکرر را تشخیص دهند، نادیده گرفته میشود.
نظارت بر نوسانات فشار خلاء
گیج خلاء محفظه ای تنها قابل اطمینان ترین ابزار هشدار اولیه در هر دستگاه است دستگاه پوشش خلاء . یک سیستم که به درستی کار می کند باید پس از رسیدن به سطح خلاء هدف، در محدوده 10-3 تا 10-5 mbar بسته به فرآیند پوشش، در یک باند فشار باریک قرار گیرد. هنگامی که یک نازل یا منبع تبخیر شروع به مسدود شدن میکند، الگوهای خروج گاز تغییر میکند و خوانشهای فشار ناپایدار میشوند، که اغلب در طول یک اجرا که قبلا ثابت بود، خزش آهسته به سمت بالا بین 5 تا 10 درصد را نشان میدهد.
دستگاه پوشش خلاء
چه چیزی را در گیج ردیابی کنیم
اپراتورها باید فشار پایه را در شروع هر چرخه ثبت کنند و آن را با میانگین تاریخی آن دستور مقایسه کنند. انحراف بیش از 8٪ از خط پایه، بدون تغییر متناظر در اندازه بار یا زمان پمپ کردن، یک شاخص قوی است که باقیمانده در اطراف منبع یا مجموعه نازل جمع می شود.
| انحراف فشار | علت احتمالی | اقدام توصیه شده |
|---|---|---|
| زیر 3 درصد | واریانس نرمال | نظارت استاندارد را ادامه دهید |
| 3 تا 8 درصد | تجمع اولیه باقی مانده | بازرسی را در تغییر بعدی برنامه ریزی کنید |
| بالای 8 درصد | انسداد جزئی نازل یا منبع | دویدن را متوقف کرده و بلافاصله بازرسی کنید |
خواندن مانیتور رسوب کریستال کوارتز
مانیتور میزان رسوب، تأیید دوم و مستقلی از گرفتگی قبل از ظاهر شدن هر گونه عیب قابل مشاهده روی بستر می دهد. یک نازل سالم یا منبع تبخیر یک منحنی سرعت خطی و قابل پیش بینی ایجاد می کند. هنگامی که باقیمانده دیافراگم را باریک می کند، منحنی سرعت معمولاً صاف یا کاهش می یابد 10% تا 25% در مقایسه با نرخ هدف دستور غذا، حتی اگر برق ورودی به منبع ثابت باقی بماند.
اپراتورهایی که a دستگاه متالیزاسیون برای لایه های بازتابنده یا لایه های بسته بندی باید به طور خاص به نرخی توجه کرد که قوی شروع می شود و در اواسط چرخه کاهش می یابد، زیرا این الگو اغلب به گرفتگی تدریجی اشاره می کند تا کمبود مواد منبع. اگر سرعت پس از پر شدن مجدد بوته بازیابی شود، اما دوباره در نقطه مشابهی در چرخه بعدی کاهش یابد، این الگوی تکرارپذیر نشانه قوی این است که هندسه نازل به جای تامین مواد به تمیز کردن نیاز دارد.
- قبل از شروع چرخه، میزان رسوب هدف را برای دستور غذا ثبت کنید.
- خواندن نرخ زنده را در علامت های 25، 50 و 75 درصد چرخه مقایسه کنید.
- هر افت مداوم بیش از 10٪ را برای بازرسی در توقف برنامه ریزی شده بعدی علامت گذاری کنید.
- انحراف سرعت را در برابر گزارش فشار خلاء برای همان چرخه بررسی کنید.
نشانگرهای بصری و حرارتی در حین کار
فراتر از ابزار دقیق، اپراتورهای آموزش دیده می توانند از طریق مشاهده مستقیم منبع در حین کار، گرفتگی را بگیرند، مشروط بر اینکه محفظه دارای یک دید یا سیستم دوربین باشد. نشانه های بصری رایج عبارتند از:
- درخشش یا قوس ناهموار در یک بخش از قایق تبخیر به جای یک ستون بخار یکنواخت
- جرقه زدن یا تف کردن در نزدیکی لبه نازل که نشان دهنده ذرات اکسید شده به دام افتاده است
- یک جریان بخار به وضوح باریک یا تغییر رنگ در مقایسه با چرخه های قبلی
- نقاط داغ موضعی در تصویربرداری حرارتی در نزدیکی دیافراگم، اغلب 20 تا 40 درجه سانتیگراد بالاتر از مناطق اطراف تشخیص داده میشوند.
تصویربرداری حرارتی به ویژه در تاسیسات با توان عملیاتی بالا مفید است دستگاه پوشش خلاء چندین جابجایی پشت به پشت انجام می دهد، زیرا گرفتگی تدریجی تمایل دارد گرمایش مقاومت موضعی را در اطراف ناحیه مسدود شده قبل از اینکه در نرخ رسوب نشان داده شود، افزایش می دهد.
بازرسی یکنواختی ضخامت بستر
پس از پردازش مواد، نقشه برداری ضخامت در عرض بستر، الگوهای گرفتگی را نشان می دهد که ممکن است ابزار دقیق در اواسط چرخه از دست رفته باشد. یک نازل که به درستی کار می کند یک پوشش یکنواخت در داخل ایجاد می کند ± 5٪ ضخامت هدف در عرض بستر. هنگامی که گرفتگی در حال انجام است، قرائت ضخامت اغلب یک فرورفتگی موضعی 10٪ یا بیشتر به طور مستقیم در پایین دست بخش نازل آسیب دیده را نشان می دهد، در حالی که بقیه بستر در محدوده تحمل باقی می ماند.
| الگوی واریانس | معنی تشخیصی |
|---|---|
| افت یکنواخت در تمام عرض | کاهش مواد منبع، مسدود نشدن |
| شیب موضعی در یک منطقه | انسداد جزئی نازل در آن ناحیه |
| چرخه نازک شدن پیشرونده در طول چرخه | تجمع تدریجی باقیمانده، به زودی نیاز به تمیز کردن دارد |
اطلاعات
اجرای یک نقشه ضخامت هر 500 تا 1000 زیرلایه، نه تنها در تغییر شیفت، به اپراتورها وضوح کافی می دهد تا قبل از افزایش نرخ ضایعات، انتقال از "ساخت اولیه" به "انسداد فعال" را دریافت کنند.
تنظیم یک برنامه تمیز کردن پیشگیرانه
تشخیص علائم اولیه تنها نیمی از راه حل است. تشخیص جفت شدن با فاصله تمیز کردن پیشگیرانه زمان توقف برنامه ریزی نشده را به میزان قابل توجهی کاهش می دهد. معمولاً تجهیزاتی که هر 40 تا 60 ساعت کارکرد، نازلها یا منابع تبخیر را بازرسی و تمیز میکنند، بهجای اینکه منتظر بروز نقص باشند. 30٪ توقف های برنامه ریزی نشده کمتر مربوط به گرفتگی فاصله دقیق به خلوص مواد منبع، سطوح خروج گاز از بستر و تمیزی محفظه بستگی دارد، بنابراین اپراتورها باید فواصل منتشر شده را به عنوان نقطه شروع در نظر بگیرند و بر اساس داده های ثبت شده خود تنظیم کنند.
ساخت یک گزارش ردیابی ساده
ثبت گزارش اولیه خط پایه خلاء، انحراف نرخ رسوب، و واریانس ضخامت برای هر چرخه، خط روندی را ایجاد میکند که روزهای مسدود شدن را قبل از اینکه روی یک قطعه تمامشده قابل مشاهده شود، علامتگذاری میکند. بسیاری از امکانات در حال اجرا a دستگاه متالیزاسیون برای فیلم بستهبندی با حجم بالا متوجه میشوید که این لاگ به تنهایی تماسهای تعمیر و نگهداری واکنشی را کاهش میدهد، زیرا الگوی تخریب به جای ناگهانی قابل پیشبینی است.
موفقیت
یک مرتبه تمیز کردن 40 تا 60 ساعته، همراه با یک لاگ سه متری ساده، برای تغییر بیشتر خطوط از تعمیر واکنشی به تعمیر و نگهداری قابل پیش بینی کافی است.
اشتباهات رایج اپراتورها هنگام تشخیص گرفتگی
چندین اشتباه تکراری تشخیص زودهنگام را به تاخیر می اندازد و یک مشکل جزئی را به توقف کامل تولید تبدیل می کند. اولاً، اپراتورها گاهی اوقات نرخ رسوب آهسته را صرفاً به مواد کم منبع نسبت میدهند، بدون اینکه لاگ خلاء را برای تغییر فشار مربوطه بررسی کنند، و سیگنال گرفتگی را به طور کامل از دست میدهند. دوم، نقشهبرداری ضخامت اغلب به ندرت انجام میشود تا روند رو به رشد را پیدا کند، به خصوص در خطوطی که دستههای طولانی و بدون وقفه دارند. ثالثاً، بازرسی بصری از طریق درگاه دید اغلب در طول دویدن با سرعت بالا نادیده گرفته میشود، حتی اگر یک نگاه پنج ثانیهای میتواند یک ستون بخار ناهموار را نشان دهد که هیچ سنسوری آن را ردیابی نمیکند.
هشدار
تکیه بر یک متریک - نرخ، فشار یا ضخامت به تنهایی - تشخیص را به تاخیر می اندازد. گرفتگی با الگوی هر سه تایید میشود، نه با خواندن مجزا.
خطر
نادیده گرفتن یک الگوی کاهش سرعت قابل تکرار در طول چرخه های متعدد، خطر خرابی کامل منبع یا نازل را در اواسط دسته ایجاد می کند، که می تواند کل اجرا را به جای یک بخش از بستر حذف کند.
اصلاح این عادات در بیشتر موارد نیاز به تجهیزات جدید ندارد. این نیاز به یک چک لیست منسجم دارد که در فواصل زمانی ثابت اعمال شود، همراه با گزارشی که به اپراتورها اجازه میدهد خوانشهای امروزی را با تاریخچه خود ماشین مقایسه کنند تا یک خط پایه پیشفرض کارخانه.
پیشنهاد نهایی برای اپراتورها
گرفتگی زودرس نازل در a دستگاه پوشش خلاء یا دستگاه متالیزاسیون به ندرت به عنوان یک شکست دراماتیک منفرد ظاهر می شود. ابتدا به صورت رانشهای کوچک و قابل اندازهگیری نشان داده میشود: یک خلاء که چند درصد از خط مبنا خوانده میشود، یک منحنی نرخ رسوب که بهجای ثابت ماندن کاهش مییابد، و نقشههای ضخامت با یک شیب موضعی که چرخه در طول چرخه رشد میکند. اپراتورهایی که این سه نشانگر را بهطور پیوسته ثبت میکنند و آن دادهها را با یک بازه تمیز کردن پیشگیرانه ثابت جفت میکنند، مشکل را در حالی که هنوز یک کار تمیز کردن پنج دقیقهای است به جای چند ساعته کردن و صلاحیت مجدد، متوجه میشوند.

ایمیل:
Tel:+86-13486478562
زبان 








Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
ایمیل:
Address: شماره 79 جاده غربی جینیو ، یویائو ، شهر نینگبو ، ژجیانگ پرویس ، چین