اخبار

چگونه می توان عدم یکنواختی فیلم های پراکنده مگنترون را حل کرد؟

Update:19-07-2019
Summary: در مرحله اول، یکنواختی و جهت میدان مغناطیسی باید برای تشکیل یک میدان مغناطیسی فضایی نسبتا یکنواخت...

در مرحله اول، یکنواختی و جهت میدان مغناطیسی باید برای تشکیل یک میدان مغناطیسی فضایی نسبتا یکنواخت تضمین شود.

ثانیا، یکنواختی فشار هوا باید تا حد امکان تضمین شود. هنگام طراحی محفظه خلاء، موقعیت نصب پمپ خلاء، راه کارخانه دستگاه پوشش وکیوم تبخیر ورودی گاز فرآیند و چیدمان لوله فرآیند در محفظه باید در نظر گرفته شود.

ثالثاً، به دلیل اینکه میدان مغناطیسی و فشار هوا نمی توانند کاملاً ایده آل باشند، میدان مغناطیسی را می توان با عدم یکنواختی فشار هوا جبران کرد تا فیلم نهایی یکنواخت شود.

چهارم اینکه فاصله پایه هدف نیز عامل مهمی در یکنواختی است.

امروز با ما تماس بگیرید

نشانی

پلاک 79 جاده جینیو غربی، یویائو،
شهر نینگبو، استان ژجیانگ، چین

تلفن

+86-13486478562

پست الکترونیک

[email protected]