مراحل استفاده از دستگاه روکش وکیوم چیست؟

دستگاه پوشش وکیوم عمدتاً به نوعی پوشش اشاره دارد که باید تحت خلاء بالاتر انجام شود، از جمله انواع مختلفی از جمله تبخیر حرارتی مقاومت در برابر خلاء، تبخیر گرمایش تفنگ الکترونی، کندوپاش مگنترون، اپیتاکسی پرتو مولکولی MBE، رسوب کندوپاش لیزر PLD، یون بسیاری وجود دارد. انواع کندوپاش پرتو ایده اصلی به دو نوع تبخیر و کندوپاش تقسیم می شود.

عملکرد کابینت کنترل الکتریکی
1. پمپ آب و منبع هوا را روشن کنید.
2. منبع تغذیه اصلی را روشن کنید.
3. منبع تغذیه پمپ تعمیر و نگهداری و وکیوم گیج، موقعیت وکیوم گیج V1 را روشن کنید، صبر کنید تا مقدار کمتر از 10 شود و سپس وارد مرحله بعدی شوید. حدود 5 دقیقه طول می کشد.
4. پمپ مکانیکی را روشن کنید، پیش پمپ کنید، برق پمپ مولکولی توربو را روشن کنید و آن را راه اندازی کنید. سوئیچ گیج خلاء به موقعیت V2 تغییر یافته است. حدود 20 دقیقه طول می کشد تا پمپ به کمتر از 2 برسد.
5. پس از مشاهده اینکه قرائت پمپ توربومولکولی به 250 می رسد، پیش پمپ را خاموش کنید، پمپ پشتی و شیر خلاء بالا را روشن کنید تا جاروبرقی ادامه یابد. بعد از اینکه خلاء به حد معینی رسید، گیج خلاء بالا را در سمت راست روشن کنید تا خلاء را مشاهده کنید. تنها پس از اینکه خلاء به 2×10-3 رسید می توان منبع تغذیه تفنگ الکترونی را روشن کرد.

عملیات DEF-6B
1. منبع تغذیه کل.
2. کنترل تفنگ الکترونی Ⅰ و کنترل تفنگ الکترونی Ⅱ منبع تغذیه را به طور همزمان روشن کنید: کنترل تفنگ الکترونی Ⅰ منبع تغذیه، سوئیچ تاخیر، تاخیر، منبع تغذیه و چراغ های حفاظتی را فشار دهید. پس از سه دقیقه، چراغ های تاخیر و حفاظت خاموش می شوند. اگر درب پشتی بسته نباشد یا رله جریان آب خراب باشد، چراغ محافظ همیشه روشن خواهد بود.
3. هنگامی که ولتاژ بالا روشن می شود، ولتاژ بالا به بیش از 10 کیلو ولت می رسد، جریان پرتو را می توان تا حدود 200 میلی آمپر تنظیم کرد، شبکه پرده 20 ولت / 100 میلی آمپر است، جریان رشته 1.2 آمپر است، و جریان انحراف بین آن نوسان می کند. 1 و 1.7.

دنباله خاموش شدن
1. متر خلاء بالا و پمپ مولکولی را خاموش کنید.
2. وقتی نمایشگر پمپ مولکولی به 50 رسید، شیر بالا، مرحله جلو و پمپ مکانیکی را به نوبه خود خاموش کنید. این مدت حدود 40 دقیقه طول می کشد.
3. وقتی زیر 50 شد دوباره پمپ تعمیر و نگهداری را خاموش کنید.