دستگاه پوشش خلاء Sputtering Magnetron چیست و چگونه کار می کند؟
دستگاه پوشش خلاء پراکنده مگنترون یک فناوری پیشرفته است که برای رسوب فیلم نازک در طیف گسترده ای از بسترها استفاده می شود. اما دقیقاً چیست و چگونه کار می کند؟
در هسته آن ، دستگاه روکش خلاء مگنترون یک محفظه با آب و هوای بالا است که حاوی یک ماده هدف ، به طور معمول یک فلز یا آلیاژ و یک بستر است که باید پوشش داده شود. این فرایند شامل بمباران مواد هدف توسط یون های پر انرژی است که اتمها را از سطح آن خارج می کنند و آنها را بر روی بستر قرار می دهند و یک فیلم نازک تشکیل می دهند.
یکی از مؤلفه های اصلی دستگاه پوشش خلاء پراکنده مگنترون مگنترون است که نوعی منبع پلاسما است که یک پلاسما بسیار یونی در محفظه ایجاد می کند. مگنترون از یک کاتد (ماده هدف) ، آند و یک میدان مغناطیسی تشکیل شده است. میدان مغناطیسی برای محدود کردن پلاسما و تقویت یونیزاسیون مولکول های گاز در محفظه ، به لکه دار شدن کارآمدتر عمل می کند.
این فرآیند با پمپاژ کردن محفظه به خلاء زیاد ، به طور معمول در حدود 10^-6 torr آغاز می شود. سپس ماده هدف توسط یون ها بمباران می شود ، که اتم ها را می کوبند و یک شار ذرات ایجاد می کنند که روی بستر قرار می گیرند. میزان رسوب و خصوصیات فیلم را می توان با تنظیم شار یون ، ولتاژ هدف و فشار در محفظه کنترل کرد.
یکی از مزایای دستگاه پوشش خلاء پراکنده مگنترون ، تطبیق پذیری آن است. از این ماده می توان برای واریز طیف گسترده ای از مواد از جمله فلزات ، آلیاژها ، سرامیک و نیمه هادی ها استفاده کرد. همچنین می توان از آن برای ایجاد روکش های چند لایه استفاده کرد که می تواند دارای خواص منحصر به فردی مانند بهبود سختی ، مقاومت در برابر سایش یا خاصیت نوری باشد.
یکی دیگر از مزیت های دستگاه پوشش خلاء Magnetron Sputtering سطح یکنواختی بالای آن است. میدان مغناطیسی موجود در محفظه برای توزیع شار یون به طور مساوی در سطح هدف ، به میزان رسوب و ضخامت یکنواخت تر فیلم کمک می کند.
در پایان ، دستگاه پوشش خلاء پراکنده مگنترون یک فناوری بسیار پیشرفته است که به طور گسترده در صنایعی مانند هوافضا ، الکترونیک و اپتیک مورد استفاده قرار می گیرد. توانایی آن در واریز طیف گسترده ای از مواد ، ایجاد پوشش های چند لایه و تولید فیلم های بسیار یکنواخت ، آن را به یک ابزار ضروری برای تحقیق و توسعه و همچنین تولید در مقیاس بزرگ تبدیل می کند.
پوشش های یون و لکه دار چند قوس را می توان در طیف گسترده ای از رنگ ها قرار داد. با وارد کردن گازهای واکنشی به محفظه در طی فرآیند رسوب ، می توان زنگ رنگ را بیشتر کرد. گازهای واکنشی که به طور گسترده ای برای پوشش های تزئینی استفاده می شود ، نیتروژن ، اکسیژن ، آرگون یا استیلن است. پوشش های تزئینی بسته به نسبت فلز به گاز در پوشش و ساختار پوشش ، در یک محدوده رنگی خاص تولید می شوند. هر دوی این عوامل را می توان با تغییر پارامترهای رسوب تغییر داد.
قبل از رسوب ، قطعات تمیز می شوند تا سطح عاری از گرد و غبار یا ناخالصی های شیمیایی باشد. پس از شروع فرآیند پوشش ، تمام پارامترهای فرآیند مربوطه به طور مداوم توسط یک سیستم کنترل خودکار رایانه کنترل و کنترل می شوند.
• مواد بستر: شیشه ، فلز (فولاد کربن ، فولاد ضد زنگ ، برنج) ، سرامیک ، پلاستیک ، جواهرات.
• نوع ساختار: ساختار عمودی ، #304 فولاد ضد زنگ.
• فیلم پوشش: فیلم فلزی چند منظوره ، فیلم کامپوزیت ، فیلم رسانا شفاف ، فیلم رو به افزایش بازتاب ، فیلم محافظ الکترومغناطیسی ، فیلم تزئینی.
• رنگ فیلم: چند رنگ ، اسلحه سیاه ، رنگ طلایی تیتانیوم ، رنگ طلایی گل رز ، رنگ استیل ضد زنگ ، رنگ بنفش ، سیاه تیره ، آبی تیره و سایر رنگهای دیگر.
• نوع فیلم: قلع ، crn ، zrn ، ticn ، ticrn ، tinc ، tialn و dlc.
• مواد مصرفی در تولید: تیتانیوم ، کروم ، زیرکونیوم ، آهن ، هدف آلیاژ ؛ هدف هواپیما ، هدف استوانه ای ، هدف دوقلوی ، هدف مخالف.
برنامه:
• ظروف شیشه ای مانند فنجان شیشه ای ، لامپ های شیشه ای ، آثار هنری شیشه ای.
• پوسته تلفن پلاستیکی ، قطعات تلفن.
• کاشی موزائیک.
• صنعت الکترون ، مانند فیلم EMI.
• قطعات را مانند کیس و کمربند تماشا می کند.
• کالاهای جدول ، مانند چنگال های فلزی و چاقو.
• کالاهای گلف ، مانند سر گلف ، قطب گلف و توپ های گلف.
• محصولات بهداشتی/کالاهای حمام.
• دسته و قفل درب.
• جواهرات فلزی .
به اشتراک:
مشاوره محصول
آدرس ایمیل شما منتشر نمی شود. زمینه های مورد نیاز مشخص شده اند *