اصل کار آبکاری یونی قوس کاتدی چیست؟

اول از همه، سوزن ضربه ای قوس (آند) با پتانسیل مثبت نزدیک به هدف (کاتد) با پتانسیل منفی است. هنگامی که فاصله بین آند و کاتد به اندازه کافی کم باشد، گاز بین دو الکترود شکسته می‌شود و جریان قوس الکتریکی را تشکیل می‌دهد که شبیه به برخورد قوس الکتریکی در جوشکاری است. در این زمان، بخشی از N2 یونیزه می شود تا کاتیون ها و الکترون های نیتروژن تشکیل شود.

با جذب نیروی میدان الکتریکی، کاتیون نیتروژن به سمت کاتد نزدیک هدف پرواز می‌کند و الکترون به سمت سوزن احتراق قوس می‌رود. با این حال، جرم یون به مراتب بیشتر از جرم الکترون است. بنابراین، تحت نیروی میدان الکتریکی یکسان، فاصله حرکت الکترون از فاصله کاتیون بیشتر خواهد بود. بنابراین، هنگامی که الکترون به آند می رسد، یون به هدف کاتد نمی رسد، بلکه به سمت سوزن احتراق قوس می رود. لایه تجمع یون مثبت در نزدیکی سطح هدف تشکیل می شود.

فاصله بین کاتیون و سطح هدف کاتد بسیار کم و تا سطح میکرون است. با توجه به e = u / D، می توان دریافت که میدان الکتریکی در فضا در این زمان بسیار زیاد است، که الکترون ها را از هدف "کشش" می کند. الکترون های "کشیده شده" از هدف کاتد به لایه تجمع یون مثبت پرواز می کنند و جریانی را تشکیل می دهند. لایه انباشته با سطح هدف متصل می شود و یک قوس در نزدیکی سطح هدف ایجاد می شود.

در همان زمان، یون‌های مثبت توسط سطح هدف کاتد جذب می‌شوند، که باعث می‌شود یون‌های مثبت سطح هدف را بمباران کنند و کندوپاش ایجاد کنند. از آنجایی که ذرات فیلم یا تبخیر می شوند یا پراکنده می شوند باید از لایه تجمع یون مثبت عبور کنند، و در فرآیند پرواز از سطح هدف کاتد، ذرات فیلم تحت تأثیر قوس در سطح هدف قرار می گیرند، بنابراین بیشتر ذرات رسیدن به قطعه کار حالت یونی دارد.

ولتاژ بایاس منفی معمولاً به قطعه کار اعمال می شود، بنابراین یون های مثبت تحت تأثیر نیروی میدان الکتریکی به قطعه کار پرواز می کنند و قطعه کار را بمباران می کنند. تولید کنندگان دستگاه پوشش DLC . این بمباران چسبندگی فیلم را بهبود می بخشد و اصطکاک را متراکم می کند که برای بهبود کیفیت فیلم بسیار مفید است.

اگر می خواهید بیشتر بدانید، می توانید با ما نیز تماس بگیرید.

NINGBO DANKO VACUUM TECHNOLOGY CO.,LTD.

سارا

تلفن: 86-15867869979

ایمیل: [email protected]

ویچت :15867869979

واتساپ: 86-158678699793