اصل کار دستگاه پوشش خلاء چیست

در زمینه پوشش ، ضخامت نمونه فیلم پس از پوشش ، عامل مهمی است که بر عملکرد فیلم تأثیر می گذارد. بنابراین ، هنگام ارزیابی عملکرد یک نمونه فیلم ، لازم است عملکرد نمونه فیلم را در ضخامت های مختلف آزمایش کنید. در مورد پوشش خلاء ، این اغلب به آماده سازی نمونه های متعدد نیاز دارد. با این حال ، در تهیه نمونه برای چندین بار دو مشکل وجود دارد: اولا ، وضعیت ابزار برای نمونه های رشد یافته در زمان های مختلف متفاوت است ، به طوری که عاملی که بر عملکرد نمونه فیلم تأثیر می گذارد ، نه تنها ضخامت است. ثانیا ، نمونه باید دوباره در آزمایش پوشش خلاء مجدداً جارو شود. بدست آوردن بسیار وقت گیر است. هزینه تولید و آزمایش را افزایش دهید.

بنابراین ، یک سیستم پوشش پراکنده مگنترون چند منظوره ارائه شده است. این سیستم توسط یک سیستم پوشش خلاء و یک سیستم جعبه دستکش ادغام شده است. این می تواند تبخیر فیلم نازک را در یک محفظه تبخیر خلاء بالا تکمیل کند و دارای گاز بی اثر با خلوص بالا در جعبه دستکش است. ذخیره و آماده سازی نمونه ها و تشخیص نمونه ها پس از تبخیر در جو انجام می شود. ترکیبی از پوشش تبخیر و جعبه دستکش متوجه تولید کاملاً محصور تبخیر ، محصور سازی ، آزمایش و سایر فرآیندها می شود ، به طوری که کل فرآیند رشد فیلم و آماده سازی دستگاه بسیار یکپارچه است و در یک سیستم جو محیط کنترل کامل کاملاً یکپارچه است و از بین بردن فرآیند آماده سازی مدار ارگانیک در منطقه بزرگ ، تأثیر عوامل ناپایدار در محیط جوی را تضمین می کند تا از طریق محیط آگهی بزرگ ، آماده سازی پرحرف و پرتحرک را تضمین می کند. مدارها

هدف اصلی سیستم پوشش پراکنده مگنترون چند منظوره: برای تهیه فیلم های مختلف فلزی ، فیلم های نیمه هادی ، فیلم های دی الکتریک ، فیلم های مگنترون ، فیلم های نوری ، فیلم های ابررسانا ، فیلم های سنجش و فیلم های مختلف عملکردی خاص استفاده می شود .