روش های رایج فناوری PVD

رسوب کندوپاش

کندوپاش یک تکنیک رسوب لایه نازک است که با تخلیه درخشش گاز همراه است. روش های زیادی برای کندوپاش وجود دارد، مانند کندوپاش جریان مستقیم، کندوپاش RF و کندوپاش راکتیو. کندوپاش مگنترون، فرکانس متوسط تامین کنندگان سیستم های پوشش PVD چین کندوپاش، کندوپاش جریان مستقیم، کندوپاش RF و کندوپاش پرتو یونی به طور گسترده استفاده می شود.

مشخصه: گاز بی اثر (مانند آرگون) مورد نیاز برای تخلیه در محفظه خلاء پر می شود. تحت عمل میدان الکتریکی ولتاژ بالا، تعداد زیادی یون مثبت از یونیزاسیون مولکول های گاز تولید می شود. هنگامی که یون های باردار توسط یک میدان الکتریکی قوی شتاب می گیرند، جریان یونی با انرژی بالا برای بمباران مواد منبع تبخیر (به نام هدف) تشکیل می شود. تحت بمباران یونی، اتم‌های مواد منبع تبخیر سطح جامد را ترک می‌کنند و با سرعت بالا روی بستر می‌پاشند تا لایه‌های نازکی را رسوب دهند.