هسته سیستم رسوب پراکنده مگنترون DC در ترکیب مبتکرانه منبع تغذیه DC و میدان مغناطیسی نهفته است. در یک محیط خلاء ، منبع تغذیه DC از میدان الکتریکی ولتاژ بالا بین هدف و بستر استفاده می کند. هنگامی که مقاومت میدان الکتریکی به اندازه کافی بزرگ باشد ، مولکول های گاز بی اثر که وارد محفظه خلاء می شوند ، برای تشکیل پلاسما یونیزه می شوند. یونهای مثبت در این پلاسما تحت عمل میدان الکتریکی شتاب می گیرند و با سرعت بسیار بالا به سطح هدف برخورد می کنند.
در طی فرآیند برخورد ، اتمها یا مولکول های روی سطح هدف از بین می روند زیرا انرژی کافی برای تشکیل ذرات پاشیده به دست می آورند. این ذرات در خلاء پرواز می کنند و در نهایت روی سطح بستر قرار می گیرند تا فیلم مورد نیاز را تشکیل دهند. شایان ذکر است که این فرایند فقط یک برخورد فیزیکی ساده نیست ، بلکه با واکنشهای پیچیده فیزیکی و شیمیایی مانند خنثی سازی یون ، ضبط الکترون و انتشار مجدد و غیره همراه است.
لکه گیری ساده DC ممکن است باعث ایجاد مشکلاتی مانند گرمای بیش از حد بستر و راندمان لکه دار کم شود. سیستم رسوب پراکنده مگنترون DC یک میدان مغناطیسی را معرفی می کند. ژنراتور میدان مغناطیسی یک میدان مغناطیسی قوی در پشت هدف ایجاد می کند. این میدان مغناطیسی با میدان الکتریکی در تعامل است تا الکترون ها را در نزدیکی سطح هدف قرار دهد و یک منطقه پلاسما با چگالی بالا تشکیل می دهد. این الکترون ها حرکت مارپیچی را در میدان مغناطیسی انجام می دهند و فرکانس برخورد با مولکول های گاز کار را افزایش می دهند ، باعث افزایش راندمان یونیزاسیون و سرعت لکه دار می شوند .
خلاصه سیستم
پوشش های یون و لکه دار چند قوس را می توان در طیف گسترده ای از رنگ ها قرار داد. با وارد کردن گازهای واکنشی به محفظه در طی فرآیند رسوب ، می توان زنگ رنگ را بیشتر کرد. گازهای واکنشی که به طور گسترده ای برای پوشش های تزئینی استفاده می شود ، نیتروژن ، اکسیژن ، آرگون یا استیلن است. پوشش های تزئینی بسته به نسبت فلز به گاز در پوشش و ساختار پوشش ، در یک محدوده رنگی خاص تولید می شوند. هر دوی این عوامل را می توان با تغییر پارامترهای رسوب تغییر داد.
قبل از رسوب ، قطعات تمیز می شوند تا سطح عاری از گرد و غبار یا ناخالصی های شیمیایی باشد. پس از شروع فرآیند پوشش ، تمام پارامترهای فرآیند مربوطه به طور مداوم توسط یک سیستم کنترل خودکار رایانه کنترل و کنترل می شوند.
• مواد بستر: شیشه ، فلز (فولاد کربن ، فولاد ضد زنگ ، برنج) ، سرامیک ، پلاستیک ، جواهرات.
• نوع ساختار: ساختار عمودی ، #304 فولاد ضد زنگ.
• فیلم پوشش: فیلم فلزی چند منظوره ، فیلم کامپوزیت ، فیلم رسانا شفاف ، فیلم رو به افزایش بازتاب ، فیلم محافظ الکترومغناطیسی ، فیلم تزئینی.
• رنگ فیلم: چند رنگ ، اسلحه سیاه ، رنگ طلایی تیتانیوم ، رنگ طلایی گل رز ، رنگ استیل ضد زنگ ، رنگ بنفش ، سیاه تیره ، آبی تیره و سایر رنگهای دیگر.
• نوع فیلم: قلع ، crn ، zrn ، ticn ، ticrn ، tinc ، tialn و dlc.
• مواد مصرفی در تولید: تیتانیوم ، کروم ، زیرکونیوم ، آهن ، هدف آلیاژ ؛ هدف هواپیما ، هدف استوانه ای ، هدف دوقلوی ، هدف مخالف.
برنامه:
• ظروف شیشه ای مانند فنجان شیشه ای ، لامپ های شیشه ای ، آثار هنری شیشه ای.
• پوسته تلفن پلاستیکی ، قطعات تلفن.
• کاشی موزائیک.
• صنعت الکترون ، مانند فیلم EMI.
• قطعات را مانند کیس و کمربند تماشا می کند.
• کالاهای جدول ، مانند چنگال های فلزی و چاقو.
• کالاهای گلف ، مانند سر گلف ، قطب گلف و توپ های گلف.
• محصولات بهداشتی/کالاهای حمام.
• دسته و قفل درب.
• جواهرات فلزی .